中国电科48所研发首台关键尺寸量测设备

　　近日，中国电科48所自主研发的首台关键尺寸量测设备(CDSEM)完成整机调试与出厂检验，启运交付客户。

　　关键尺寸量测设备(CDSEM)是半导体先进制程中不可或缺的核心量检测装备，被誉为半导体制造的“纳米标尺”，可适配先进集成电路、量子信息、人工智能芯片、光电子等前沿领域的研发与生产检测需求。依托“三束”根技术，48所组建研发、生产、服务一体化协同攻关团队，集智攻关、持续突破，先后攻克高分辨率电子光学系统、高精度位移台等多项关键核心技术，实现从原理验证、样机研制到工程化产品的跨越。

　　下一步，48所将持续深化技术迭代与工艺创新，加速推进电子束设备产业化与服务标准化体系建设，强化与产业链龙头企业的协同合作，用“三束”装备为我国半导体产业高质量发展贡献力量。

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